０．０００．０００．０００．０００．００１Faradの静電容量変化を捉える。

静電容量センサ・GDS0001

中小企業総合展参考出展　

非接触計測、非接触制御を支える高感度変位センサ

主な仕様
周波数帯域 　DC〜１０KHｚ（３０ｋHzまで受注生産）
　　　　静電容量分解能　１femt Farad　以下

概要
　市販のLCRメータは同期整流検出方式を用いているために出力Filterの時定数が応答速度を制限します。このため、LCRメータは静的な定数測定に用いられます。これに対して弊社の静電容量計は、共振検出方式を採用することにより高速度応答と超高感度を実現しました。

測定原理
　本静電容量計は被測定容量と標準インダクタでLC共振回路を構成し、共振点からのずれを検出することにより微少容量変化を検出します。

構成
　本静電容量計はセンサ電極、センサアンプ、コントローラにより構成されます。センサ電極とアース間に発生する静電容量を計測します。センサアンプはセンサ電極からの微少信号を増幅します。コントローラ部はセンサヘッドからの信号を処理します。



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